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  LED外延片是指當(dāng)在一塊加熱至適當(dāng)溫度的襯底基片(主要有藍(lán)寶石、SiC、Si等)氣態(tài)物質(zhì)hn、C、A1、P有控制地輸送到襯衣表面,所生長(zhǎng)出的特定單晶薄膜。目前LED外延片生長(zhǎng)技術(shù)主要采用金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積的方法外延片處于LED產(chǎn)業(yè)鏈中的上游環(huán)節(jié),是半導(dǎo)體照明產(chǎn)業(yè)技術(shù)含量最高、對(duì)最終產(chǎn)品品質(zhì)、成本控制影響最大的環(huán)節(jié)。近年來(lái),下游應(yīng)用市場(chǎng)的繁榮帶動(dòng)我國(guó)LED產(chǎn)業(yè)迅猛發(fā)展,外延片市場(chǎng)也迎來(lái)發(fā)展良機(jī)。國(guó)內(nèi)LED外延片產(chǎn)能快速提升,技術(shù)水平不斷進(jìn)步,產(chǎn)品已開(kāi)始進(jìn)入中高檔次。不同的襯底材料,需要不同的LED外延片生長(zhǎng)技術(shù)、芯片加工技術(shù)和器件封裝技術(shù)。襯底材料決定了半導(dǎo)體照明技術(shù)的發(fā)展路線(xiàn)。
  LED外延片襯底材料的選擇原則如下:
  1)結(jié)構(gòu)特性好。外延材料與襯底的晶體結(jié)構(gòu)相同或相近,晶格常數(shù)失配度小,結(jié)晶性能好,缺陷密度小
  2)界面特性好。有利于外延材料成核且黏附性強(qiáng)。
  3)化學(xué)穩(wěn)定性好。在外延生長(zhǎng)的溫度和氣氛中不容易分解和腐蝕。
  4)熱學(xué)性能好。導(dǎo)熱性好,熱失配度小。
  5)導(dǎo)電性好。能制成上下結(jié)構(gòu)。
  6)光學(xué)性能好。器件所發(fā)出的光被襯底吸收小。
  7)力學(xué)性能好。器件容易加工,包括減薄、拋光和切割等。
  8)性?xún)r(jià)比高。
  9)大尺寸。一般要求直徑不小于2n
  10)容易得到規(guī)則形狀襯底(除非有其他特殊要求),與外延設(shè)備托盤(pán)孔相似的襯底形狀才不容易形成不規(guī)則渦流
  11)在不影響外延質(zhì)量的前提下,襯底的可加工性盡量滿(mǎn)足后續(xù)芯片和封裝加工工藝要求。襯底的選擇要同時(shí)滿(mǎn)足以上11個(gè)方面是非常困難的。所以,目前只能通過(guò)外延生長(zhǎng)技術(shù)的變更和器件加工工藝的調(diào)整來(lái)適應(yīng)不同襯底上的半導(dǎo)體發(fā)光器件的研發(fā)和生產(chǎn)。